863计划“汽车电子稳定程序（ESP）微传感器及系统”课题通过验收

   近期，科技部先进制造技术领域组织召开了863计划“汽车电子稳定程序（ESP）微传感器及系统”课题验收会。验收专家听取了课题汇报，审查了相关资料，进行了现场考察并观看了成果演示，一致同意该课题通过验收。
   该课题针对ESP（汽车电子稳定程序，下同）高性能、低成本和高可靠性的应用目标，开展了MEMS（微机电系统，下同）陀螺仪和加速度传感器设计、MEMS惯性器件批量制造与测试、低成本塑封空腔外壳集成封装、ESP系统研制及传感器验证等研究，突破了MEMS陀螺仪数字闭环系统设计、圆片级真空封装、低应力塑封、圆片级在片测试、MEMS传感器成品率控制等关键技术。在陀螺仪数字化电路、注塑空腔封装、MEMS陀螺仪和加速度传感器在片自动测试等方面有所创新，开发出了基于自主研制MEMS陀螺仪和MEMS加速度传感器的汽车ESP系统，可靠性满足汽车环境标准，完成汽车应用环境试验和路试，实现了示范应用。